真空製氣油加氫脫硫製程為藉由觸媒之作用，在高壓氫氣環氛下除去其中硫、氮、氧及金屬等雜質。所選用觸媒種類將影響主要化學反應型態及裂解反應程度。桃廠VGO工場採用鈷、鉬觸媒較有利於直鏈硫化物的脫除。在成品合乎規範前提下，儘量維持較低的反應溫度，有益於維持較佳的操作條件。在可能範圍內提高循環氣品質及系統壓力，有助於減少能源消耗。RFCC工場運轉後，真空製氣油應維持高煉量操作。就製程改善而言，應在不變動反應器設計情況下嘗試：提昇循環氣純度及流率；改善蒸餾塔效率；加熱爐、換熱器及轉動設備去瓶頸。